Lò Nung ATV Technologies PEO-601, PEO- 603, PEO- 612

Model

Thông số kỹ thuật

PEO-601

Buồng thạch anh: đường kính bên trong Ø 112 mm (4 1 /2")

Dung lượng lớn nhất: 40 wafers (miếng bán dẫn), đường kính Ø 100 mm,  nền gốm: 40 miếng 2" x 2" hoặc 20 miếng 4" x 4"

Vùng nhiệt độ tiêu chuẩn: 1000°C, liên tục

Nhiệt độ lớn nhất: 1150°C, liên tục, cao hơn trên yêu cầu

Nung nóng: 6 điện trở gia nhiệt dây quấn Kanthal® xung quanh trục sứ, mỗi điện trở 1 kW, 2 vùng, dễ dàng để thay thế khi bị sự cố.

Dung lượng chân không: lớn nhất 1 x 10–2 mbar

Nguồn điện cung cấp theo tiêu chẩn châu âu: 3 pha, 400 VAC, 5 dây gồm 3 dây pha (L1, L2, L3), 1 dây trung tính (N), 1 dây nối đất (PE), 16 A, lớn nhất 7 kW

Hoặc nguồn cung cấp khác phù hợp với quốc gia luôn luôn có sẵn trên yêu cầu của bạn.

Kích thước: 710 x 650 x 460 mm (28"W x 25"H x 18"D)

Khối lượng: Khoảng 45 kg (100 lbs)

PEO-603

Buồng thạch anh: đường kính bên trong Ø 230 mm (9")

Dung lượng lớn nhất: 60 wafers (miếng bán dẫn), đường kính Ø 200 mm, ceramic substrates (nền gốm): 400 miếng

2" x 2" hoặc 120 miếng 4" x 4", phù hợp với định dạng lớn hơn

Vùng nhiệt độ tiêu chuẩn: 1,000°C, liên tục

Nhiệt độ lớn nhất: 1,150°C, liên tục, cao hơn trên yêu cầu

Nung nóng: 12 điện trở gia nhiệt dây quấn Kanthal® xung quanh trục sứ, mỗi điện trở 1,6 kW, 3 vùng, dễ dàng để thay thế khi bị sự cố, cộng với một bản gia nhiệt trong cửa chuông thủy tinh và ở phía cuối của ống

Dung lượng chân không: lớn nhất 5 x 10–6 mbar

Nguồn điện cung cấp theo tiêu chẩn châu âu: 3 pha, 400 VAC, 5 dây gồm 3 dây pha (L1, L2, L3), 1 dây trung tính (N), 1 dây nối đất (PE),32 A, lớn nhất 22 kW

Hoặc nguồn cung cấp khác phù hợp với quốc gia luôn luôn có sẵn trên yêu cầu của bạn.

Kích thước: 1000 x 710 x 800 mm (39"W x 28"H x 31"D)

Khối lượng: Khoảng 110 kg (245 lbs)

PEO-612

Buồng thạch anh: đường kính bên trong Ø 336mm (131

/4")

Dung lượng lớn nhất: 30 wafers (miếng bán dẫn) đường kính Ø 300 mm, 60 wafers (miếng bán dẫn), đường kính Ø 200 mm, ceramic

Substrates ((nền gốm): số lượng dựa trên kích thước phù hợp

Vùng nhiệt độ tiêu chuẩn: 1,000°C, liên tục

Nhiệt độ lớn nhất: 1,150°C, liên tục, cao hơn trên yêu cầu

Nung nóng: 12 điện trở gia nhiệt dây quấn Kanthal® xung quanh trục sứ, mỗi điện trở 1,6 kW, 3 vùng, dễ dàng để thay thế khi bị sự cố, cộng với một bản gia nhiệt trong cửa chuông thủy tinh và ở phía cuối của ống

Dung lượng chân không: lớn nhất 5 x 10–6 mbar

Nguồn điện cung cấp theo tiêu chẩn châu âu: 3 pha, 400 VAC, 5 dây gồm 3 dây pha (L1, L2, L3), 1 dây trung tính (N), 1 dây nối đất (PE),32 A, lớn nhất 22 kW

Hoặc nguồn cung cấp khác phù hợp với quốc gia luôn luôn có sẵn trên yêu cầu của bạn.

Kích thước: 1200 x 850 x 900 mm (47"W x 33"H x 35"D)

Khối lượng: khoảng 140 kg (310 lbs)